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低能离子注入种子的深度浓度分布的模拟
王林香, 祝恒江, 郭常新, 王世亨
SIMULATION OF THE DEPTH-CONCENTRATION DISTRIBUTION FOR LOW ENERGY IONS IMPLANTED INTO SEED
WANG Lin-xiang, ZHU Heng-jiang, GUO Chang-xin, WANG Shi-heng
J4 . 2011, (
5
): 886 -891 . DOI: 10.11869/hnxb.2011.05.0886